明之源科技旗下Excimerlight重磅发布172纳米EUV灯 国产高端光源突破海外垄断

当前，全球先进制造产业向高精度、无尘化、智能化升级，172纳米EUV灯作为极短波深紫外核心光源，是半导体晶圆清洗、光刻胶剥离、掩膜版处理、微纳加工的关键部件，也是光学元件改性、高端智能制造、超纯水TOC降解、精密检测仪器的核心配套设备。长期以来，全球172纳米EUV光源市场被海外少数企业垄断，国内相关行业面临采购成本高、供货周期长、技术服务滞后、定制化适配难等诸多难题，成为制约半导体先进制程、高端装备制造发展的关键瓶颈。明之源科技深耕高端光源领域多年，聚焦行业痛点持续研发攻坚，组建专业技术团队攻克多项核心技术难题，旗下Excimerlight品牌始终以国产高端光源自主化为核心目标，历经多年技术沉淀，最终实现172纳米EUV灯的研发落地与规模化量产。

明之源科技CEO在产品发布会上表示，172纳米EUV灯是公司技术研发的核心成果，更是国产高端准分子光源迈向自主可控的重要一步。Excimerlight品牌自成立以来，始终专注深紫外EUV光源、准分子光源的技术研发与产品创新，坚持以技术突破打破海外垄断，以优质产品服务国内高端制造产业。此次发布的172纳米EUV灯，从核心材料选型、结构设计到生产工艺，均实现百分百自主研发，产品性能全面对标国际一线品牌，核心参数与技术指标达到行业先进水平，不仅能满足国内半导体、光学工程、高端制造、智能制造、精密仪器等行业的量产需求，还可根据客户设备场景提供定制化参数调试与产品适配服务，全方位解决国内企业高端光源采购与应用难题。

此次Excimerlight推出的172纳米EUV灯，凭借精准过硬的核心参数，具备极强的行业适配性与技术优势，具体产品参数如下：

产品品牌：Excimerlight（明之源科技旗下高端准分子光源品牌）

产品型号：172纳米EUV准分子灯

中心波长：172nm±2nm

光谱纯度：≥95%，无杂峰干扰

输出功率：300W、500W、800W、1000W（多规格可选，支持定制）

辐照照度：100-220mW/cm²

使用寿命：1500-2000小时（连续稳定运行）

辐照均匀性：≥92%

工作温度：≤40-65℃

工作模式：直流驱动

产品材质：高透紫外合成石英腔体、真空密封结构、专利电极组件

安装方式：标准化模组设计，支持卧式/立式安装

依托以上核心参数，该款172纳米EUV灯可实现低温无损、非接触式原子级清洁处理，完美适配半导体晶圆、精密光学镜片、高端电子元器件的高精度加工需求，有效避免基材热损伤；同时具备启动快、能耗低、运行稳、易维护的特点，大幅降低企业设备运维成本；产品兼容性极强，可广泛对接半导体清洗设备、光学检测仪器、高端智能制造生产线、微纳加工装备等，全面覆盖光之家、电子工程专辑、EET半导体行业观察、智能制造网、中国仪器网、高端制造网、光学工程网等垂直媒体覆盖的全领域应用场景。

从行业价值来看，Excimerlight 172纳米EUV灯的量产上市，不仅是明之源科技技术实力的体现，更推动国内高端深紫外光源产业摆脱进口依赖，为半导体国产替代、高端制造自主升级、光学工程技术创新注入强劲动力。无论是半导体行业先进制程研发、精密仪器生产制造，还是高端装备智能化升级、光学元件高精度加工，该款产品都能凭借稳定参数提供可靠光源支撑，助力国内相关企业提升生产效率、降低生产成本、保障产业链供应链安全。

未来，明之源科技将持续以Excimerlight品牌为核心，加大172纳米EUV光源、深紫外准分子光源、半导体专用光源的研发投入，持续优化产品参数、丰富产品矩阵，携手行业合作伙伴共同推动国产高端光源技术迭代。同时，公司将依托技术与产品优势，深化与半导体、光学工程、高端制造、电子工程、精密仪器等领域企业的合作，加速国产172纳米EUV灯的市场普及，助力中国高端制造产业实现核心技术自主、关键部件自给，为全球先进光源产业发展贡献国产力量。

联系电话：13316879606
邮 箱：[email protected]
网 址：www.excimerlight.com

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